等离子清洗机多晶硅晶片材料表面刻蚀

随着现代半导体技术的发展，对刻蚀的要求越来越高，多晶硅晶片的等离子清洗设备满足了这一要求。设备稳定性是保证生产过程稳定性和可重复性的关键因素之一。

　　等离子清洗机是一种多功能等离子表面处理设备，可配备不同的部件，如表面镀(涂)、蚀刻、等离子化学反应、粉末等离子处理等。

　　等离子清洗机对多晶硅晶片的蚀刻效果好。通过配置蚀刻部件，等离子清洗机可以实现蚀刻功能，性价比高，操作简单，从而实现多功能。

　　等离子清洗机是一种利用低温等离子体的特性对被处理材料进行等离子体表面处理的设备。一般等离子体处理后，材料的表面张力、润湿性、亲水性都会发生变化，达因值也会发生变化。适合达因笔测试的材料有很多，不锈钢、玻璃、塑料、陶瓷灯等等。

　　达因值主要通过达因笔体现，也称表面张力检测笔、电晕处理笔、塑料薄膜表面张力检测笔。有十多种不同张力的测试笔，包括32、34、36、38、40、42、44、46、48、50、52、54、56、58、60或更多，可以测试样品的表面张力是否达到测试笔的值。

　　经过等离子体表面清洗和活化处理后，传统材料的表面能得到提高，体现在材料达因值提高试验上。聚合物塑料样品用等离子清洗机处理，比较处理前后达因值。

　　处理前达因在样品表面划线，划线后慢慢收缩串珠，表明达因值在30-40之间；等离子清洗机处理后，达因笔画线条均匀分布，无珠，说明样品表面达因值大于50。

　　等离子清洗机处理后，材料的表面张力和表面能得到提高，为材料的后续加工和应用提供了可能。

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