随着半导体技术不断微缩,集成电路制造工艺正变得越来越复杂,往往需要经过几百甚至上千道的工艺步骤。对于先进的半导体器件制造,每经过一道工艺,硅片表面都会或多或少的存在颗粒污染物、金属残留或有机物残留等,下面介绍激光清洗机在半导体元件的清洗应用。
1、激光清洗是非接触式的,可以通过光导纤维传输,与机器人或者机械手联合,方便地实现远距离操作,能清洗传统方法不易达到的部位;
2、激光清洗设备可以长期稳定使用,不需耗材物料,只需少量电费,维护和运行成本低,可以方便地实现自动化操作,一次投入无限循环使用;
3、激光清洗能清理各种材料表面的不同类型的污染物,达到很高的洁净度,是表面工程处理的新应用。武汉瑞丰光电激光设备是性价比较高的,凭借多年的激光研发经验,产品技术成熟,产品性能安全稳定。瑞丰光电激光电始终坚持“质量第一、服务第二、价格第三”的态度,给客户提供最优质的产品及服务。
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