来讨论一下真空等离子清洗机电极结构

真空等离子清洗机的电极结构，是我们研究真空等离子体放电和材料表面改性的核心技术之一。在设计真空等离子清洗机电极结构的时候，都应充分考虑处理对象的形状大小、放置方式和产能需求；产品和材料特性；以及不同处理目的等因素
　　1 平板水平电极式真空等离子清洗机
　　这是常见的电极结构。层与层之间的金属电极面积相等，等离子体放电比较均匀，电极中间可以放托架，把需要处理的产品放置在托架上，层间距可以调整，电极上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷状和粉体类的产品或材料不能处理，其它物品都可以。
　　2 平板垂直电极式真空等离子清洗机
　　这种电极结构不是简单把水平电极改为垂直就可以，层与层之间的金属电极的间距，等离子体放电的均匀性，电极板的温控，以及产品或材料的放置问题等，都是要充分考虑的。产品的摆放通常采用两种方式：电极之间加上夹子或挂钩来处理物品；在载物车上加夹子和挂钩来处理物品。这种结构的等离子体放电均匀性要好于水平电极的均匀性。
　　3 车载托架式真空等离子清洗机
　　所谓车载托架，实际上就是把金属小车直接当电极，主要解决的问题是大物件的摆放和搬运问题，尤其是规格尺寸比较大的产品或材料，例如发动机轴瓦，质量也是比较重，操作人员用小车搬运比较方便和安全。这种电极结构，等离子体放电均匀性是个挑战！
　　4 平板组合式真空等离子清洗机
　　类似于LED、PCB、金属引线框架的产品，往往会放在治具里面进行等离子清洗，平板组合式的电极结构应运而生。根据治具和产能大小，可以设计成多个料盒处理空间。这种结构的产能比较高，只是治具需要两边开槽，同时治具中间的产品处理效果不如上下层，等离子体放电均匀性欠缺。
　　5 柱状垂直式真空等离子清洗机
　　平板垂直式电极的不足是，当两个电极之间放的产品或材料面积比较大，而且上面没有孔或缝隙时，等离子体是无法形成良好交换回路，表面处理效果会打折扣。采用柱状垂直电极，等离子体放电会集中于每一根电极周围，不会有遮挡现象，处理效果会得到很大提升。
　　6 卷对卷式真空等离子清洗机
　　薄膜、卷材类的产品或材料，采用常规的等离子清洗机来处理显然是有难度的，于是便有了收放卷加等离子处理的设备。其电极结构既有水平式，也有柱状式，加上收放卷控制系统。难点是等离子体放电的均匀性，材料收放卷过程纠偏的控制等。
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